Электронный справочник:
Характеристики методов распределительного элементного анализа
| Метод |
Латеральное разрешение AL |
Глубина отбора
аналитической информации |
Предел обнаружения, г |
| монослоев |
мкм |
| Масс-спектрометрия твердых тел |
104
- 106 |
|
10 |
10-12 |
| Лазерный микроанализ |
104
- 106 |
|
10 |
10-12 |
| Электронно-зондовый микроанализ |
106
- 108 |
|
1 |
10-16 |
| Масс-спектрометрия вторичных ионов |
106
- 108 |
1 -5 |
0,0005 |
10-17 |
| Оже-электронная спектроскопия |
106
- 108 |
10 |
0,005 |
10-13 |
× Источник: М. Отто. Современные методы аналитической химии. Пер. с нем. под ред. А.В. Гармаша. -М.: Техносфера, 2003. Т. 2. C. 215.
к алфавитному указателю справочника
к полному списку таблиц справочника
|
