Электронный справочник:
Состав электролитов и режимы анодного травления кремния
Состав электролита |
Режим
травления |
Плотность тока, мА/см2 |
Время, мин |
10%-й раствор гидроксида натрия
Хромовый ангидрид, 2,5 г |
160 |
1 |
Азотная кислота, 50 мл
Вода, 200 мл |
10 |
1,5-2 |
10%-я фосфорная кислота |
10 |
1-2 |
× Источник: Коленко Е. А. Технология лабораторного эксперимента: Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. С. 448.
к алфавитному указателю справочника к полному списку таблиц справочника
|